安東帕Tosca系列原子力顯微鏡
電子工業的數字化和微型化是近年來的重要發展趨勢,也是微電子元器件創新的主要動力之一。因此,在微納米尺度對元器件和材料的電學性能進行測量,也成為了元器件研究、工藝、以及失效分析的重要手段。例如: 介電層在納米范圍內的厚度偏差會產生介質擊穿的薄弱點,從而降低整個薄膜的可靠性;器件內單個微結構異常的“電流-電壓”響應關系往往是器件失效的原因等等。
安東帕Tosca系列原子力顯微鏡(AFM)以其優異的探測性能和簡捷高時效的操作流程,受到廣大用戶的青睞,成為顯微結構和物性分析的強大工具。Tosca在納米級的三維成像及尺寸測量、粗糙度分析、微區組分分布信息探測、微區力學性質測試、納米尺度電學特性測試、以及高分辨磁學分布特性分析等領域,都有著出色的表現。
(責任編輯:金利儀器lyh)