水質(zhì)檢測(cè)是離子色譜應(yīng)用最廣泛的一個(gè)領(lǐng)域，無論是飲用水、礦泉水還是地表水、再生水，其質(zhì)量的的評(píng)價(jià)總是少不了離子色譜的身影。離子色譜可以用來檢測(cè)水質(zhì)中的陰陽離子、有機(jī)酸、消毒副產(chǎn)物和草甘膦等多種物質(zhì)。那么離子色譜在芯片制造的用水中又是做什么的呢？ 

 

       電子級(jí)水顧名思義為電子產(chǎn)業(yè)專用的水，一般用于電子和半導(dǎo)體行業(yè)的沖洗。它有什么特點(diǎn)呢？就一個(gè)字，純！因?yàn)樗�的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，純度不夠會(huì)導(dǎo)致低擊穿，產(chǎn)生缺陷，還影響材料的壽命，因此電子級(jí)水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。  

 

       根據(jù)GB/T 11446.1《電子級(jí)水》的要求，電子級(jí)水分為Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)和Ⅴ級(jí)，其中Ⅰ級(jí)水要求電阻率≥18MΩ·cm，這基本已經(jīng)接近理論極限18.181818MΩ·cm，因此水中會(huì)產(chǎn)生電導(dǎo)率的離子必須盡可能的少，按照該標(biāo)準(zhǔn)要求Ⅰ級(jí)水中氟離子、氯離子、亞硝酸根、溴離子、硝酸根、磷酸根、硫酸根的含量均不得超過1μg/L。   

 

       同時(shí)標(biāo)準(zhǔn)中還規(guī)定，氟離子、氯離子、亞硝酸根、溴離子、硝酸根、磷酸根、硫酸根的含量檢測(cè)按照GB/T 11446.7《電子級(jí)水中痕量陰離子的離子色譜測(cè)試方法》進(jìn)行。瑞士萬通智能離子色譜系統(tǒng)完全符合該標(biāo)準(zhǔn)，充分滿足進(jìn)行電子級(jí)水中痕量陰離子檢測(cè)的各項(xiàng)需求。 

 

       由于GB/T 11446.1《電子級(jí)水》中對(duì)各陰離子的限值為1μg/L。按照慣例，離子色譜必須將檢出限降到0.1μg/L以下才行，對(duì)于超低濃度的樣品有的時(shí)候我們還需要預(yù)濃縮技術(shù)的幫助。 

 

       瑞士萬通英藍(lán)預(yù)濃縮技術(shù)是瑞士萬通英藍(lán)樣品前處理技術(shù)的一種。如視頻所示，英藍(lán)預(yù)濃縮技術(shù)可以將大體積的樣品流經(jīng)預(yù)濃縮柱，使待測(cè)離子在預(yù)濃縮柱上富集，然后使用淋洗液反向沖洗預(yù)濃縮柱，將富集到預(yù)濃縮柱的待測(cè)離子帶入色譜柱進(jìn)行分離，此時(shí)進(jìn)樣體積不再受定量環(huán)的限制，而是由加液精度為1/10000的Dosino加液?jiǎn)卧�控制，進(jìn)樣體積最高可達(dá)20mL，檢出限低至ng/L，同時(shí)由于待測(cè)物是附著在預(yù)濃縮柱上，沒有溶劑的影響，可以有效避免大體積進(jìn)樣帶來的峰展寬，可以說英藍(lán)預(yù)濃縮技術(shù)是痕量離子分析不可或缺的好幫手。